Multilayer Spiegel
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n
λ
=
2
d
sin
θ
1
−
4
δ
¯
d
2
n
2
λ
2
(3.30)
n Ordnung
d Gesamtdicke einer AB-Lage
δ
¯
gemittelter Brechkoeffizent
Anforderungen:
Thermische Stabilität (bei Ausleuchtung)
geringe Rauhigkeit
geringe Absorption
Datei:Roentgen Multilayer Vorkommen.pdf
Abbildungen Att Reflexion optische Gitter im bereich bis 50eV natürliche Kristalle
n
λ
=
2
d
sin
θ
ab 5KeV dazwischen Lücke die durch Multilayer/Vielschichtspiegel geschlossen werden kann
Abb. 3.23 Schichtaufbau multilayer
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